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小高敏夫さん死去、87歳 東京エレクトロン創業者

2023/4/5 11:44 (2023/4/5 12:11更新)

 半導体製造装置大手の東京エレクトロンを創業した小高敏夫(こだか・としお)さんが3月24日午後5時20分、東京都内の自宅で死去した。87歳。同社が5日発表した。葬儀・告別式は近親者で行った。後日、お別れの会を開く予定。

 慶応大卒業後、日商岩井(現双日)入社。1963年に小高さんら数人で東京エレクトロン研究所(現東京エレクトロン)を創業した。80年から社長を務めた。